Промышленная-система вакуумного покрытия, объединяющая магнетронное распыление (RF/DC/HiPIMS) и катодно-дуговое испарение. Предназначен для непрерывного, много-осаждения тонких-пленок, сплавов и нано-тонких-пленок в промышленных масштабах.
Технические характеристики
|
Параметр |
Спецификация Значение |
|
Предельное вакуумное давление |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and roots-rotary pump configuration) |
|
Размеры камеры |
Размеры по индивидуальному заказу от D 600 x 600 мм до D 1500 x 1500 мм (электро-полированная нержавеющая сталь 304/316L) |
|
Источники осаждения |
Конфигурация: 2–6 катодов магнетронного распыления / 2–4 дуговых источника. |
|
Сила смещения подложки |
Регулируемый от 0 до -1000 В постоянного тока (импульсный постоянный ток для диэлектрических подложек) |
|
Равномерность толщины пленки |
<= +/- 3% across standard planar holder (via dynamic planetary rotation) |
|
Температура подложки |
Температура окружающей среды до 650 градусов (+/- 2 градуса ПИД-регулирование с замкнутым-контуром) |
|
Распределение мощности |
ВЧ (13,56 МГц), постоянный ток, импульсный постоянный ток и среднечастотный-частотный режим (СЧ) с подавлением дуги |
Ключевые особенности
Двойная-интеграция технологий:Сочетает напыление (гладкие пленки аморфных соединений) и катодную дугу (осаждение металлов/сплавов с высокой-ионизацией) в одном цикле откачки-.
Замкнутый-управление газом:Регуляторы массового расхода (MFC) в сочетании с оптическим контролем выбросов (OEM) стабилизируют парциальное давление реактивного газа.
Механическая изоляция:Многоосные планетарные приводы-изолируют механические подшипники от технологической зоны, предотвращая загрязнение твердыми частицами.
Тепловая архитектура:Двойные-стенки с водяным-охлаждением камеры и радиационная защита предотвращают тепловые искажения во время-работы на высокой мощности.
Ядро автоматизации:ПЛК Siemens S7-1500 и архитектура SCADA WinCC для мониторинга блокировки, газа и питания в реальном времени.
Конфигурация вакуумной системы
Черновой поезд:Пластинчато-роторные насосы с прямым-приводом и воздуходувками Рутса с уплотнениями из магнитной жидкости.
Высокий вакуум:Турбо-молекулярные насосы на магнитной подвеске (1200 - 3200 л/с) или криогенные насосы.
Диагностика:Встроенные тестовые порты гелиевого масс-спектрометра и блокировки автоматического секвенирования.
Совместимость материалов и подложек
Целевые материалы:
Металлы:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl, CrAl, Si
Керамика/Компаунды:TiN, CrN, TiAlN, DLC, Al2O3, SiO2
Субстраты:Инструментальные стали (H13, M2, твердосплавные пластины), титано-алюминиевые конструкционные сплавы, конструкционная керамика и кремниевые пластины.
Приложения и проверенная производительность
Режущие инструменты:Многослойные покрытия с низким-трением и высокой-твёрдостью-(TiAlN/TiN) увеличивают срок службы инструмента при сухой высокоскоростной-обработке.
Автомобильная промышленность:Износостойкие и противо-задирные покрытия поршневых колец и штифтов впрыска топлива.
Аэрокосмическая промышленность:Устойчивый к окислению-термический барьер и защитные пленки на лопатках компрессора и крепежных элементах.
Оптика и электроника:Проводящие прозрачные оксиды (ITO) и оптические интерференционные фильтры.
Параметры настройки
Геометрия камеры:Прямоугольные конфигурации коробок для загрузки в стеллажи или цилиндрические линейные геометрии.
Источник Модернизация:Сменные монтажные фланцы катода для переоборудования на CFUBMS в полевых условиях.
Плазменное травление:Ионные пушки типа Кауфмана-или источники с полым катодом для очистки подложек на-на месте.
Контроль качества и заводские испытания
Целостность вакуума:Порог испытания на утечку гелия<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.
Поверхностная обработка:Внутренние сварные швы камеры электро-полированы до Ra<= 0.4 um.
ТОЛСТЫЙ:72-часовые непрерывные испытания вакуума, движения и защитных цепей блокировки вхолостую перед помещением в ящик.
Стандарты соответствия:Создано в соответствии с директивами CE по машинному оборудованию и стандартами ISO 9001. (Значки значка доверия: ISO 9001, CE, UL)
Установка и техническая поддержка
Пакет документации:Схемы P&ID, электрические схемы, логика источника ПЛК и досье соответствия CE/UL.
Ввод в эксплуатацию:Инженеры на местах контролируют механическое позиционирование, подключение к инженерным сетям и проверку герметичности.
SAT и передача рецептов:Выполнение базовых тестов на-сайте и оптимизация рецептов.
Часто задаваемые вопросы
Вопрос: Каково время откачки-до базового давления?
A: Достигает давления < 5,0 x 10^-4 Па в течение 45 минут в чистых, сухих и температурных условиях окружающей среды.
Вопрос: Может ли система переключаться между распылением постоянным током и радиочастотным напылением в ходе-процесса?
А: Да. Матрица мощности позволяет программно-контролировать последовательность между постоянным током, импульсным постоянным током и радиочастотным сигналом без нарушения вакуума.
Вопрос: Какие утилиты необходимы на-сайте?
A: Охлажденная вода (от 15 до 20 градусов при давлении от 0,3 до 0,4 МПа), сжатый воздух (0,6 МПа), технологические газы высокой-чистоты (Ar, N2, O2 при 99,999%) и выделенное трехфазное промышленное питание.
Вопрос: Как регулируется температура подложки во время осаждения?
A. Встроенные инфракрасные пирометры в сочетании с блоками лучистых нагревателей и ПИД-регулированием с замкнутым-контуром.
горячая этикетка : pvd-композитная тонкая пленочная система, Китай pvd-композитная тонкая пленочная система производители, поставщики, завод, физическое осаждение пары тонкопленочное оборудование, Плазменное тонкопленочное оборудование, Оборудование для обнаружения дефектов с тонкой пленкой, Тонкое пленочное оборудование для применений для производства устройств блокчейна, Тонкое пленочное оборудование для применений металлизации, Тонкое пленочное оборудование для датчиков и приводов. Производственные применения
