Обзор продукта
Оборудование для нанесения тонких пленок композитных материалов PVD — это промышленная платформа для вакуумного осаждения, разработанная для нанесения тонких многослойных, сплавных и нанокомпозитных пленок. Интегрируя источники магнетронного распыления и катодной дуги в одной вакуумной камере, система обеспечивает точный контроль микроструктуры пленки, остаточного напряжения и межфазной адгезии. Платформа, созданная для непрерывного производства и передовых исследований и разработок, подходит для металлических, керамических и полимерных подложек с масштабируемой геометрией камер.
-
![Оборудование для вакуумного напыления композитов PVD]()
Оборудование для вакуумного напыления композитов PVDЭта промышленная платформа для вакуумного осаждения композитов PVD объединяет несколько методов осаждения в одной камере для нанесения однородных, много-тонких пленок из металлов, сплавов или...Смотреть больше -
![Гибридная система осаждения тонких пленок PVD]()
Гибридная система осаждения тонких пленок PVDГибридная система осаждения тонких пленок PVD объединяет термическое испарение, электронно-лучевое (e-лучевое) испарение и магнетронное распыление RF/DC в рамках единой вакуумной архитектуры. Эта...Смотреть больше -
![Многопроцессное-оборудование для производства тонких пленок PVD]()
Многопроцессное-оборудование для производства тонких плен...Оборудование для многопроцессного-обработки тонких пленок PVD — это интегрированная платформа для вакуумного осаждения, разработанная для объединения нескольких методов изготовления тонких-пленок,...Смотреть больше -
![Оборудование для осаждения композитных материалов PVD]()
Оборудование для осаждения композитных материалов PVDПромышленное оборудование для нанесения PVD-композитов предназначено для изготовления много-компонентных, много-слойных и нано-тонких-пленок композитов. Система объединяет источники термического...Смотреть больше -
![Композитная тонкопленочная система PVD]()
Композитная тонкопленочная система PVDПромышленная-система вакуумного покрытия, объединяющая магнетронное распыление (RF/DC/HiPIMS) и катодно-дуговое испарение. Предназначен для непрерывного, много-осаждения тонких-пленок, сплавов и...Смотреть больше -
![Оборудование для производства композитных тонких пленок PVD]()
Оборудование для производства композитных тонких пленок PVDОборудование для производства композитных тонких пленок PVD — это промышленная вакуумная платформа, предназначенная для синтеза многослойных, легированных и градуированных тонких пленок....Смотреть больше
Технические характеристики
|
Параметр |
Диапазон спецификации |
|
Предельное вакуумное давление |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
Рабочее давление |
0,1 Па - 5.0 Па |
|
Температура подложки |
Температура окружающей среды до 800 градусов (замкнутый-ПИД-регулирование) |
|
Источники осаждения |
Конфигурируемые: магнетронное распыление постоянным/частотным током, импульсное постоянное напряжение, катодная дуга с фильтрацией. |
|
Однородность толщины |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
Материал камеры |
Нержавеющая сталь 304L/316L, механическая шлифовка и электро-полировка (Ra<= 0.4 um) |
|
Интеграция источника питания |
Генераторы СЧ (10–100 кГц), Генераторы ВЧ (13,56 МГц), Импульсное смещение постоянного тока |
|
Система управления |
Промышленный ПЛК + IPC с автоматическим выполнением рецептов, контролем блокировки и регистрацией данных партии. |
Процесс осаждения композита
В системе используется гибридная архитектура физического осаждения из паровой фазы, сочетающая технологии магнетронного распыления и катодно-дуговой технологии.
Синергия нескольких-источников:
Одновременная или последовательная работа нескольких катодов позволяет осуществлять резкие или плавные переходы состава в стопке пленки.
Ионное травление. Предварительная-очистка:
Этапы плазменной очистки РЧ или постоянным током удаляют собственные оксиды и поверхностные загрязнения перед осаждением, чтобы обеспечить максимальную адгезию покрытия-к-подложке.
Реактивный контроль осаждения:
Оптическая эмиссионная спектроскопия с замкнутым-контуром (OES) регулирует впрыск реактивного газа (O2, N2, C2H2) для поддержания стабильной стехиометрии соединений и предотвращения отравления мишени.
Смещение подложки:
Источники питания с синхронизированным импульсным смещением бомбардируют растущую пленку ионами высокой-энергии, уплотняя микроструктуру и корректируя остаточное сжимающее напряжение.
Киноматериалы
Оборудование поддерживает широкий спектр целевых материалов для индивидуальных функциональных требований:
Нитриды и карбиды переходных металлов:
TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN для устойчивости к износу и коррозии.
Нанокомпозитные и многослойные системы:
TiSiN, AlTiSiN, нанослои металла/керамики, обеспечивающие чрезвычайную твердость и высоко-термическую стабильность.
Прозрачные проводящие оксиды (TCO):
ITO, AZO, IGZO для оптоэлектронных и фотогальванических применений.
Чистые металлы и сплавы:
Ti, Cr, Al, Cu, нержавеющая сталь, NiCr для слоев электрического контакта и диффузии.
Приложения
Прецизионные режущие инструменты:
Нанесение сверх-твердых покрытий с низким-фрикционным трением (например, TiAlN) на твердосплавные пластины, сверла и концевые-фрезы для продления срока службы при высоких термических нагрузках.
Автомобильные компоненты:
Пленки, -снижающие трение и износостойкие-, на поршневых кольцах, деталях системы впрыска топлива и узлах шестерен.
Оптоэлектроника и дисплеи:
Проводящие оксидные слои с низким-удельным сопротивлением и высоким-высоким коэффициентом пропускания для сенсорных панелей и подложек солнечных батарей.
Медицинские приборы:
Биосовместимые и износостойкие-покрытия хирургических инструментов и ортопедических имплантатов.
Кастомизация и конфигурация системы
Инженерные конфигурации адаптируются к конкретным ограничениям производственного объекта и технологическим рецептам:
Размер камеры:
Варианты цилиндрических или прямоугольных камер: от систем периодического действия для исследований и разработок (диаметр 500 мм) до крупномасштабных -производственных-запорных систем (более 1000 мм).
01
Выбор набора для сцеживания:
Подбор воздуходувок Рута, турбомолекулярных и криогенных насосов с учетом требуемого времени простоя насоса-и профиля газовой нагрузки.
02
Крепление подложки:
Настраиваемые ступени планетарного вращения, 3-осевое вращение сателлитов или модули рулонного-роллинга, предназначенные для сложной трехмерной геометрии или непрерывных полотен.
03
Уровень автоматизации:
Полу-конфигурации с ручной загрузкой или полностью автоматизированные системы вакуумной транспортировки с роботизированной обработкой подложек.
04
Производство и контроль качества
Обнаружение утечек:
Каждая вакуумная камера подвергается тестированию на герметичность гелиевого масс-спектрометра с порогом < 1 x 10^-10 Па * м^3/с.
Проверка сварных швов:
Боковые сварные швы в вакууме-свариваются TIG, шлифуются и полируются с последующей рентгенологической-проверкой или капиллярной дефектоскопией по запросу.
Соответствие требованиям электробезопасности и безопасности:
Панели управления, изготовленные в соответствии со стандартами NFPA 79 или CE/IEC, оснащены аппаратными блокировками по расходу воды, давлению газа и электробезопасности.
Заводские приемочные испытания (FAT):
Пред-испытания перед отправкой включают 72-непрерывные-циклические испытания в сухом режиме, проверку производительности вакуума и пробное нанесение покрытия по рецептам, указанным клиентом.
Рекомендации по подготовке места:В документе с комплексными требованиями к объекту подробно описаны интерфейсы инженерных сетей (расход/давление охлаждающей воды, электрическая нагрузка, сжатый воздух, выхлопные газы).
При-вводе в эксплуатацию объекта:Инженеры по обслуживанию на местах выполняют механическую центровку, проверку герметичности вакуума, электрическое подключение-и первоначальную калибровку.
Настройка рецепта процесса:Сотрудничество на-площадке с металлургами и инженерами-технологами клиента для фиксации целевых параметров толщины пленки, напряжения и твердости.
Поддержка жизненного цикла:Интерфейс удаленной диагностики, локализованный запас запасных частей и программы планового профилактического обслуживания.
Часто задаваемые вопросы
Мы хорошо-известны как один из ведущих производителей и поставщиков оборудования для производства пленок из композитных пвд-пленок в Китае. Если вы собираетесь купить оборудование для изготовления тонких пленок из композитных пвд-пленок по индивидуальному заказу, произведенное в Китае, добро пожаловать на прайс-лист на нашем заводе. Для консультации по цене свяжитесь с нами.
