Китайские производители тонкопленочного оборудования для дугового испарения Поставщики Фабрика

Обзор продукта

Промышленная система катодно-дугового испарения — это платформа промышленного-класса для физического осаждения из паровой фазы (PVD), предназначенная для нанесения износостойких-, коррозионно--стойких и твердых покрытий с низким-трением. При использовании электрических дуг низкого-напряжения и высокого-тока мишени с твердым катодом мгновенно испаряются и ионизируются в катодном пятне, создавая сильно ионизованную металлическую плазму.

Эта система, разработанная и изготовленная в соответствии со стандартами управления качеством ISO 9001 и директивами соответствия CE, предназначена для высокопроизводительных-операций нанесения покрытий в производстве инструментов, автомобильных компонентов и промышленного оборудования. Стандартные конфигурации включают в себя схемы с несколькими-катодами, независимым-управлением магнитным полем, программируемыми источниками питания постоянного/импульсного смещения и автоматическим контролем вакуума для поддержания постоянной стехиометрии пленки и плотных микроструктур.

Тонкопленочная система дугового испарения
Промышленная система тонкопленочных катодно-дугового испарения разработана для высокоскоростного-осаждения плотных, прочно прилипающих покрытий из металлов, сплавов и керамических компаундов....
Смотреть больше
Оборудование для дугового испарения PVD
Промышленная система PVD катодного дугового испарения использует электрические дуги низкого-напряжения и высокого-тока для испарения мишеней с твердым катодом в вакуумной среде. Этот механизм...
Смотреть больше
Тонкопленочная вакуумно-дуговая система
Промышленная вакуумно-дуговая система тонких пленок использует катодно-дуговое испарение для нанесения плотных, обладающих высокой адгезией тонких пленок из металлов, сплавов и керамики. Дуга с...
Смотреть больше
Оборудование для катодной дуговой тонкопленочной обработки
Система физического осаждения из паровой фазы (PVD), использующая локализованные электрические дуги низкого-напряжения и высокого-тока для испарения мишеней с твердым катодом в полностью...
Смотреть больше
Оборудование для дугового напыления
Промышленная платформа физического осаждения из паровой фазы (PVD), разработанная для высокоскоростного-синтеза плотных,-износостойких и функциональных твердых покрытий. Поддержание...
Смотреть больше
Оборудование для дугового испарения тонких пленок
Эта система катодно-дугового испарения испаряет мишени с твердым катодом с помощью электрической дуги низкого-напряжения и высокого-тока для создания полностью ионизированной металлической плазмы....
Смотреть больше

Технические характеристики

Параметр	Диапазон технических характеристик/стандартная конфигурация
Размеры камеры	Диаметр: 800 мм - 1800 мм (настраиваемая вертикальная/горизонтальная компоновка)
Материал камеры	Двойные-стенки из нержавеющей стали SUS304 и внутренние каналы водяного-охлаждения
Предельное вакуумное давление	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups)
Конфигурация катода	От 4 до 12 источников прямоугольной/круглой дуги с электромагнитным управлением
Источник питания дуги	300 А - 500Регулируемый постоянный ток, пульсации<= 2%
Сила смещения подложки	Регулируемая от 0 до -1000 В, частота импульсного смещения 10 кГц - 100 кГц
Система отопления	Массив лучистого обогревателя, максимальная температура 600 градусов +/- 5 градусов однородности
Вращение заготовки	Планетарное или двухосное-вращение, приводимое в действие магнитной жидкостью.
Система управления	ПЛК + промышленный ПК, автоматическое управление последовательностью-на основе рецептов
Требования к утилитам	Охлаждающая вода: 0,25-0,35 МПа, 20-25 градусов; Питание: 380 В/480 В, 3-фазное, 50/60 Гц

Процесс дугового испарения

Цикл осаждения проходит под строгим процедурным контролем, чтобы гарантировать целостность пленки и адгезию интерфейса:

Эвакуация и дегазация:

Вакуумная камера откачивается до базового давления. Подложки нагреваются в вакууме для удаления с поверхности летучих веществ и остаточной влаги.

Плазменное травление (очистка):

Бомбардировка ионами металлов (с использованием мишенных источников из титана или хрома) очищает поверхность подложки на атомном уровне, удаляя собственные оксиды и активируя границу раздела.

Реактивное осаждение:

Реактивные газы (N2, CH4, O2) вводятся в камеру через регуляторы массового расхода (MFC) для взаимодействия с плазменным потоком металла (например, Ti, Cr, AlTi), образуя составные пленки, такие как TiN, TiAlN или CrN.

Охлаждение и вентиляция:

Охлаждение после-осаждения происходит в атмосфере защитного инертного газа перед вентилированием камеры и извлечением деталей.

Пленочные материалы и подложки

Поддерживаемые катодные мишени
Титан (Ti) и титан-алюминий (TiAl):Базовые материалы для стандартных покрытий TiN и покрытий TiAlN с высокой-окислительной-стойкостью (выдерживающих окисление до 900 градусов).

Хром (Cr):Используется для декоративной отделки и коррозионно--стойких слоев CrN/CrC.

Цирконий (Zr) и титан-кремний (TiSi):Применяется для создания специализированных декоративных и износостойких-нанокомпозитных пленок.

Совместимые материалы подложки
Быстро-быстрорежущая сталь (HSS):Спиральные сверла, концевые фрезы, червячные фрезы и протяжки.

Цементированные карбиды (WC-Co):Сменные пластины, развертки и штампы.

Инженерные стали и сплавы:Детали автомобильных клапанов, шестерни, сантехническое оборудование из нержавеющей стали и медицинские имплантаты из титана.

Приложения и влияние на производительность

Металлорежущие инструменты:

Нанесение покрытий TiAlN и AlCrN на твердосплавные пластины и концевые фрезы продлевает срок службы инструмента на 200–300 % и обеспечивает сухую высокоскоростную-обработку.

Формовочные и штамповочные штампы:

Нанесение плотных покрытий с низким-фрикционным коэффициентом для уменьшения адгезионного износа, истирания и прилипания заготовки во время глубокой вытяжки, что сокращает время простоя до 40 %.

Автомобильная трансмиссия:

Обработка поршневых колец, штифтов впрыска топлива и толкателей для минимизации коэффициента граничного трения до < 0,15 и предотвращения задировового износа.

Промышленное оборудование и санитарный кран:

Твердые декоративные слои PVD (золото TiN, розовое золото, черный цирконий), прошедшие минимум 500-часовое испытание в нейтральном солевом тумане (ASTM B117).

Кастомизация и конфигурация процесса

Компоновка оборудования масштабируется в зависимости от объема производства, геометрии детали и площади завода:

Геометрия камеры:

Вертикальные погрузочные конструкции для тяжелого инструмента; горизонтальные пакетные конфигурации для-мощной загрузки приспособлений.

Интеграция источников:

Гибридные конфигурации, сочетающие катодно-дуговые источники с катодами несбалансированного магнетронного распыления (RMS), для нанесения гладких,-многослойных архитектур без капель.

Системы фильтрации:

Дополнительные магнитные фильтры макрочастиц (фильтры с управляемой дугой), устанавливаемые на катодных каналах для удаления макро-капель для оптических или сверх{1}}гладких прецизионных функциональных покрытий.

Интерфейс автоматизации:

Готовность к интеграции-с роботизированными погрузочными манипуляторами и автоматизированной управляемой машиной (AGV).

Производство и контроль качества

Структурная целостность:Корпуса камер проходят испытания на герметичность гелиевого масс-спектрометра с порогом чувствительности<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.

Электробезопасность и соответствие требованиям:Создан строго в соответствии с рекомендациями по электробезопасности CE и IEC, включает полную проверку изоляции и аварийные блокировки.

Функциональный запуск-от (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N/отступ Роквелла HF1-HF2) проверяются на стандартных тестовых купонах перед отправкой.

Установка и техническая поддержка

Пакет подготовки объекта:

Подробные чертежи инженерных сетей с подробным описанием расхода охлаждающей воды, вытяжной вентиляции, допустимой нагрузки на пол и технических характеристик линий электропередачи предоставляются через 4 недели после-контракта.

При-вводе в эксплуатацию объекта:

Сертифицированные заводом инженеры-технологи выполняют механическую центровку, обнаружение утечек вакуума, электрическую интеграцию и первоначальную настройку базового рецепта на предприятии клиента.

Процесс передачи рецепта:

В поставку входят стандартные базовые рецептуры (TiN, TiAlN, CrN) и обучение эксплуатации внутренних групп технического обслуживания и инженеров.

Удаленная диагностическая поддержка:

Системы, оснащенные безопасными промышленными шлюзами-маршрутизаторами для удаленного устранения неполадок параметров и логической диагностики ПЛК.

Часто задаваемые вопросы

Вопрос: Как система контролирует образование макрочастиц (капель), возникающее при дуговом испарении?

Ответ: В оборудовании используются регулируемые катушки управления магнитным полем для быстрого перемещения пятна катодной дуги по целевой поверхности, что сокращает время пребывания и выброс капель. Для применений, требующих сверх-гладкой поверхности, дополнительные модули дуги с фильтром магнитно отклоняют металлическую плазму от макрочастиц, прежде чем она достигнет подложки.

Вопрос: Каков типичный целевой коэффициент использования для стандартной конфигурации катода?

Ответ: Стандартные круглые и прямоугольные катоды обеспечивают коэффициент использования целевого материала от 40% до 55%, в зависимости от профиля магнитного поля и толщины мишени. Замена мишени механически фиксируется с помощью механизмов быстрого-зажима, что позволяет свести к минимуму время простоя при обслуживании.

Вопрос: Можно ли интегрировать это оборудование в существующую автоматизированную производственную линию?

А: Да. Архитектура управления ПЛК поддерживает протоколы связи SECS/GEM и стандартное цифровое подтверждение ввода-вывода для интеграции с автоматизированными линиями предварительной-очистки и роботизированными загрузочными камерами.

Вопрос: Каков стандартный срок изготовления камеры индивидуальной конфигурации?

Ответ: Стандартным вертикальным системам периодического действия требуется от 16 до 22 недель с момента утверждения чертежа до заводских приемочных испытаний (FAT), в зависимости от индивидуальных характеристик насосной группы и схемы электропитания.

Мы хорошо-известны как один из ведущих производителей и поставщиков оборудования для дугового испарения тонких пленок в Китае. Если вы собираетесь купить изготовленное в Китае оборудование для дугового испарения тонких пленок по индивидуальному заказу, добро пожаловать на прайс-лист на нашем заводе. Для консультации по цене свяжитесь с нами.