Обзор продукта
Промышленное много-оборудование для ионно-дугового покрытия, предназначенное для нанесения твердых покрытий, функциональных пленок и декоративного PVD-покрытия на прецизионные компоненты. Используя вакуумный дуговой разряд с высоким-током и низким-напряжением, система непосредственно испаряет твердые материалы мишени (Ti, Cr, Al, Zr). В сочетании с химически активными газами (N2, O2, C2H2) синтезирует плотные нитриды, карбиды и оксиды переходных металлов непосредственно на металлических подложках.
Это готовое PVD-решение, основанное на модульной архитектуре вакуумной камеры, подходит для производства различных масштабов-от серийных исследований и разработок до автоматического-поточного производства с высокой производительностью. Система оптимизирована для высокого целевого использования и низкой совокупной стоимости владения (TCO) в непрерывных промышленных средах, работающих круглосуточно и без выходных.
-
![Много-Оборудование для многодугового вакуумного напыления]()
Много-Оборудование для многодугового вакуумного напыленияВ этой много-системе вакуумного напыления используется технология катодно-дугового ионного покрытия для нанесения плотных, -твердых покрытий с высокой адгезией на металлические и не-металлические...Смотреть больше -
![Много-система ионно-дугового осаждения]()
Много-система ионно-дугового осажденияThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80 % ионизация твердого...Смотреть больше -
![Многодуговое оборудование для производства тонких пленок с PVD-покрытием]()
Многодуговое оборудование для производства тонких пленок ...Промышленная много-дуговая система PVD использует катодно-дуговое физическое осаждение из паровой фазы с высокой-ионизацией для нанесения плотных стехиометрических твердых покрытий (таких как TiN,...Смотреть больше -
![Оборудование для много-ионно-дугового осаждения]()
Оборудование для много-ионно-дугового осажденияПромышленная много-система ионно-дугового осаждения создает плотные тонкие пленки с высокой-адгезией посредством катодно-дугового испарения при высоком-токе и низком-напряжении. Твердые мишенные...Смотреть больше -
![Мульти-дуговая ионно-тонкопленочная система]()
Мульти-дуговая ионно-тонкопленочная системаПромышленная много-дуговая ионно-тонкая пленочная система использует катодно-дуговое испарение для нанесения плотных керамических и металлических покрытий с высокой-адгезией на подложки из...Смотреть больше -
![Мультидуговое ионно-тонкопленочное оборудование]()
Мультидуговое ионно-тонкопленочное оборудованиеЭта много-система ионного покрытия использует катодно-дуговое испарение для нанесения плотных, -твердых покрытий с высокой-адгезией и функциональных тонких пленок. При воздействии дуги с...Смотреть больше
Технические характеристики
|
Параметр |
Диапазон спецификации |
Единица/Примечание |
|
Размеры камеры |
от Ф600 х 600 до Ф1500 х 1800 |
мм (индивидуальная вертикальная или горизонтальная конфигурация) |
|
Предельное вакуумное давление |
<= 5.0 x 10^-4 |
Па (сухой насос + турбо-молекулярный/масляный диффузионный комплект) |
|
Катодно-дуговые источники |
от 4 до 16 единиц |
Электромагнитные управляемые или фильтруемые источники дуги (FCA) |
|
Сила смещения подложки |
от 0 до -1000 |
V (расширенные возможности импульсного смещения постоянного / MF) |
|
Температура нагрева |
Комнатная температура до 600 |
C (инфракрасные обогреватели с ПИД-регулированием) |
|
Равномерность осаждения |
<= +/- 5% |
Измерено с помощью XRF в эффективной рабочей зоне. |
|
Система управления |
ПЛК + промышленный ПК |
Автоматизированное выполнение рецептов, регистрация данных SCADA |
|
Безопасность и соответствие |
CE, ИСО 9001 |
Электрические корпуса, соответствующие требованиям UL-, доступны по запросу. |
Последовательность физического осаждения из паровой фазы осуществляется по строгому, замкнутому-автоматическому рабочему процессу, обеспечивающему повторяемость-между-партиями:
Эвакуация и дегазация:
Вакуумная камера откачивается до базового давления<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Плазменное травление (бомбардировка):
Вводится газ аргон. К держателю подложки прикладывается сильное отрицательное смещение, генерирующее ионы аргона, которые бомбардируют поверхность, распыляя собственные оксиды и микро-загрязнения.
Дуговое испарение и ионизация:
Постоянный ток дуги ударяет по твердому металлическому катоду. Локальное катодное пятно достигает чрезвычайной плотности энергии, мгновенно превращая материал мишени в плазменный поток высокой-плотности (степень ионизации > 80%).
Реактивное осаждение:
Реактивные газы впрыскиваются в плазменный поток при точно контролируемых парциальных давлениях с помощью контроллеров массового расхода (MFC), образуя стехиометрические составные пленки на вращающихся подложках.
Охлаждение и вентиляция:
Контролируемое охлаждение происходит под защитой инертного газа перед вентилированием камеры, предотвращая окисление только что покрытых деталей.
Материалы пленки и свойства покрытия
Система поддерживает конструкции с несколькими-металлическими катодами, что позволяет создавать однослойные, многослойные, нано-композитные и градиентные пленочные архитектуры:
TiN (нитрид титана):
Стандартное золотое покрытие; твердость 2200–2400 HV; коэффициент трения 0,4. Основное применение: общие режущие инструменты и механически изнашиваемые детали.
TiAlN (нитрид титана и алюминия):
Устойчивость к высокотемпературному-окислению до 850 C; твердость 3000–3300 HV. Основное применение: высокоскоростная-вставка для сухой обработки и клапаны двигателя.
CrN/CrAlN (нитрид хрома):
Отличная коррозионная стойкость и низкое внутреннее напряжение; противо-противоприхватные свойства по отношению к цветным-черным металлам. Основное применение: формование форм, поршневых колец и компонентов текстильного оборудования.
ZrN/TiCN:
Низкая шероховатость поверхности (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Приложения
Прецизионные режущие инструменты:
Концевые фрезы, сверла, червячные фрезы и сменные пластины, требующие увеличенного срока службы инструмента при высоких термических нагрузках.
01
Автомобильная трансмиссия:
Поршневые пальцы, толкатели, компоненты впрыска топлива и поверхности шестерен, требующие пониженного граничного трения и сопротивления истиранию.
02
Пресс-формы и штампы:
Пластиковые формы для литья под давлением, штампы для штамповки и вставки для литья под давлением-, требующие устойчивости к адгезионному износу и термической усталости.
03
Аэрокосмические компоненты:
Лопатки турбин и титановые крепежные детали, работающие в агрессивных коррозийных и-нагруженных средах.
04
Кастомизация и конфигурация системы
Стандартные элементы каталога редко идеально вписываются в планировку специализированного завода. Конфигурации оборудования подбираются с учетом геометрии конкретных компонентов, целевого времени цикла и ограничений объекта:
Геометрия камеры:
Восьмиугольные или цилиндрические камеры из нержавеющей стали (SUS304/SUS316L) с двойными-рубашками водяного-охлаждения.
Исходный макет:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Крепление подложки:
Планетарное вращение (3- оси) или механизмы одиночного вращения, приводимые в действие магнитной жидкостью, чтобы гарантировать равномерное покрытие покрытия на объектах сложной трехмерной геометрии.
Варианты насосной установки:
Воздуходувки Рутса, пластинчато-роторные насосы, криогенные насосы или турбомолекулярные насосы, настроенные на соблюдение строгих требований к-циклам простоя.
Протоколы контроля качества и тестирования
Перед отправкой каждая машина проходит строгие заводские приемочные испытания (FAT), документально оформляемые для рассмотрения покупателем:
01
Вакуумный тест на целостность:
Обнаружение утечек гелия с использованием масс-спектрометрии (скорость утечки<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
Электробезопасность и пожароопасность-в:
72-часовая непрерывная пробная работа источников питания, блокировок водяного охлаждения и логики автоматизации ПЛК.
03
Проверка покрытия (собственная-лаборатория):
Пробы протестированы с помощью теста Кало-(толщина пленки), индентирования по Роквеллу (прочность адгезии) и наноиндентирования (твердость).
Установка, пуско-наладка и техническая поддержка
Рекомендации по подготовке места:
На подробных чертежах инженерных коммуникаций указаны требования к расходу/давлению охлаждающей воды, сжатому воздуху, вытяжной вентиляции и требованиям к электрическим шинам.
SAT и ввод в эксплуатацию:
Установка на-площадке (приемочные испытания), вакуумная калибровка и передача базового рецепта выполняются старшими инженерами-технологами PVD.
Процесс обучения:
Практическое-обучение операторов, включая графики замены катодов, профилактическое обслуживание вакуума, устранение неполадок и оптимизацию базовых рецептов.
Поддержка запасных частей:
Важные изнашиваемые компоненты (катоды, экраны, изоляторы и уплотнения) складируются для отправки по всему миру в течение 48 часов.
Часто задаваемые вопросы
Мы хорошо-известны как один из ведущих производителей и поставщиков многодугового ионно-тонкого пленочного оборудования в Китае. Если вы собираетесь купить индивидуальное много-дуговое ионно-тонкопленочное оборудование, произведенное в Китае, добро пожаловать на получение прайс-листа на нашем заводе. Для консультации по цене свяжитесь с нами.
