Оборудование для высоковакуумного электронно-лучевого испарения

Система высоковакуумного электронно-лучевого испарения серии EBE-наносит тонкие пленки высокой-чистоты для оптических, полупроводниковых и металлургических применений. Направляя магнитно-фокусированный электронный луч на исходные материалы внутри вакуумной камеры, система достигает локализованного нагрева и быстрого испарения. Этот метод предотвращает загрязнение тигля и эффективно обрабатывает тугоплавкие металлы и диэлектрики высокой-чистоты.

Камера из нержавеющей стали оснащена крионасосами или турбомолекулярными насосами, обеспечивающими базовое давление ниже 5 x 10^-5 Па, чтобы минимизировать попадание остаточного газа во время роста пленки.

Прямое электро-лучевое отопление:Обходит ограничения резистивной лодки; плавит материалы с высокой-точкой-плавления, включая вольфрам, платину и оксид алюминия.

Программируемая развертка луча:Двухосные-электромагнитные катушки распределяют луч по поверхности испаряющегося материала, предотвращая образование кратеров и обеспечивая равномерный расход материала.

Многоточечное-индексирование:Медные тигли с водяным-охлаждением позволяют осуществлять последовательное много-осаждение слоев без нарушения вакуума.

Мониторинг скорости QCM:Двойные кварцевые датчики контролируют скорость осаждения и толщину пленки, подключаясь напрямую к ПЛК/ПИД-регулятору.

Архитектура безопасности:Аппаратные блокировки защищают от сбоя охлаждающей воды, высокого давления в камере и утечки через дверное уплотнение.

Черновая стадия:Двухступенчатый-роторно-лопастной насос в сочетании с нагнетателем Рута обеспечивает быструю черновую обработку до 10 Па.

Стадия высокого вакуума:Турбо-молекулярный насос (от 1200 до 2200 л/с), соединенный с гелиевым криогенным насосом с замкнутым-контуром, изолированным пневматическими задвижками.

Мониторинг давления:Полный-диапазон датчиков Пирани/холодного катода отслеживает давление в камере от атмосферы до сверх-высокого вакуума.

Диагностика:Фланцевые порты KF и CF подходят для гелиевых течеискателей.

Производство полупроводников:Металлические затворные контакты, диффузионные барьерные слои и омические контакты (Ti/Pt/Au, Cr/Au).

Оптические интерференционные фильтры:Многослойные-покрытия для лазерных зеркал, полосовых фильтров и просветляющих линз-с использованием чередующихся диэлектрических оксидов.

Фотоэлектрические исследования и разработки:Тонкие-пленочные слои для перовскитных и солнечных элементов CIGS.

Функциональные покрытия:Защитные слои оксида металла для аэрокосмической техники и компонентов датчиков.

Геометрия камеры:Вертикальные или горизонтальные цилиндрические камеры, масштабированные для больших плоских панелей или трехмерных деталей.

Модификация субстрата:Смещение постоянного/радиочастотного тока для ионно--осаждения (IAD) и нагревателей подложек, рассчитанных на температуру до 600 градусов Цельсия.

Загрузите-интеграцию блокировки:Одинарные- или двойные-загрузочные-камеры для загрузки пластин для уменьшения количества циклов откачки-при работе с высокой-пропускной способностью.

Интеграция управления:Индивидуальные сценарии ПЛК/SCADA, поддерживающие автоматизацию рецептов, регистрацию данных и связь SECS/GEM.

Испытание на утечку гелиевого масс-спектрометра:Перед заводской приемкой камеры прошли испытания на пороговые значения ниже 1 x 10^-9 Па*м^3/с.

Проверка электробезопасности:Испытания на сопротивление изоляции высокого-напряжения, целостность заземления и блокировку выполняются в соответствии со стандартами CE/IEC.

Проверка размеров:Проверка на координатно-измерительной машине (КИМ) уплотнительных поверхностей и соосности фланцев.

Заводские приемочные испытания (FAT):72-часовой непрерывный сухой пробег вакуумных насосов, узлов движения и силовых агрегатов с полными отчетами о данных.

При-вводе в эксплуатацию объекта:Инженеры управляют выравниванием камеры, подключением инженерных сетей (вода, электроэнергия, газ, выхлопные газы) и первоначальной вакуумной прокачкой-.

Калибровка процесса:Техническая поддержка устанавливает базовые скорости осаждения и калибровочные кривые толщины пленки во время приемочных испытаний на месте (SAT).

Отправка запасных частей:Важные быстроизнашивающиеся детали-волокна, тигли, кристаллы QCM и вакуумные уплотнения-хранятся на местном складе.

Удаленная диагностика:Модули безопасной диагностики позволяют-извлекать журналы ПЛК в реальном времени для быстрого устранения неполадок.