Оборудование для ионного-вакуумного испарения

Система ионного-вакуумного испарения объединяет источники термического или электронно-лучевого испарения в высоком-вакууме с источником ионов типа Кауфмана-или Энда-Холла. Бомбардируя растущую пленку ионизированным газом (Ar или O2) во время физического осаждения из паровой фазы (PVD), система передает кинетическую энергию адатомам, подавляя столбчатую микроструктуру и предотвращая поглощение влаги в тонких оптических и диэлектрических пленках.

Созданная для интеграции чистых помещений и непрерывного-производства в несколько смен, система масштабируется от исследовательских центров (камеры 300 мм) до высокопроизводительных-промышленных линий (900 мм с двумя-дверями и конфигурациями с планетарным вращением).

Около-объемной плотности:Повышенная подвижность поверхности адатомов устраняет видимую пористость пленки и максимизирует механическую твердость.

Внутренняя настройка стресса:Регулируемая энергия ионного пучка нейтрализует механическое напряжение, предотвращая расслоение толстых диэлектрических пакетов.

Обработка с низким-тепловым-бюджетом:Уплотнение, управляемое-импульсом, позволяет создавать высокоэффективные-покрытия на термочувствительных-полимерных подложках без термической деформации.

Автоматизация рецептов:ПЛК-контролирует вакуумные блокировки и последовательность откачки-, управляемую с помощью промышленного сенсорного-ИЧМ-панели с регистрацией данных.

Черновая стадия:Двухступенчатый пластинчато-роторный механический насос в сочетании с нагнетателем Рута (скорость 150 л/с) для быстрого перекачивания.

Стадия высокого вакуума:Турбомолекулярный насос на магнитной подвеске (1600 л/с) с безмасляным-сухим спиральным насосом для устранения обратного потока углеводородов.

Криогенный вариант:Интеграция холодной ловушки жидкого азота и крионасоса для низкого парциального давления паров воды-.

Измерение вакуума:Перекрестные-калиброванные датчики Пирани и холодного катода для получения обратной связи-от атмосферы в реальном времени до давления 10^-7 Па.

Испарительные материалы
Оксиды:SiO2, TiO2, Ta2O5, Nb2O5, Al2O3

Фториды:МгФ2, ЛаФ3

Металлы:Al, Ag, Au, Ti, Cr

Совместимость с субстратом
Оптические подложки:Окна из плавленого кварца, N-BK7, кремния, германия и селенида цинка.

Полупроводниковые пластины:Кремниевые и составные полупроводниковые пластины диаметром от 100 до 300 мм.

Полимеры:Пленки ПЭТ, ПИ (полиимид) и ПММА с использованием низкотемпературных параметров IAD.

Прецизионная оптика:Анти-антиотражающие (AR) покрытия, лазерные зеркала и узкополосные фильтры, требующие влагостойкости.

Микроэлектроника:Металлические затворные электроды, адгезивные слои и пассивационные барьеры в полупроводниковой упаковке.

Оптоэлектроника:Контакты из прозрачного проводящего оксида (TCO) и влагонепроницаемые герметизирующие слои OLED.

Геометрия камеры:Прямоугольные или цилиндрические конструкции, адаптированные к ограничениям стен чистых помещений.

Интеграция с несколькими-источниками:Установки со-испарения, вмещающие до трех электронно-лучевых пушек и четырех тепловых лодочек.

Метрологические порты-на месте:Фланцевые интеграционные порты для спектроскопических эллипсометров или систем оптического мониторинга.

Уровень автоматизации:Полу-автоматическое исследовательское создание или полностью автоматизированная обработка-кассетных-подложек.

Обнаружение утечек:Тестирование гелиевого масс-спектрометра в каждой камере со строгим порогом отклонения < 1 x 10^-9 Па*м^3/с.

Проверка чистоты:Анализатор остаточных газов (RGA) выполнил сканирование перед-отгрузкой, чтобы убедиться в отсутствии органических углеводородов.

Запись системы-Время:72-непрерывные испытания механических приводов, охлаждающих коллекторов и электрических блокировок всухую.

Документация:Сертификаты заводских испытаний материалов (MTR), электрические схемы и отчеты о заводских приемочных испытаниях (FAT).

Подготовка места:Detailed facility guide covering floor loading, chilled water (>= 5 м^3/ч), чистый сухой воздух (CDA) и выхлопные газы.

Ввод в эксплуатацию:Развертывание выездного обслуживания для механического выравнивания, подключения к инженерным сетям, вакуумной калибровки и утверждения рецептов-.

Обучение операторов:5-дневная программа с выездом на объект, охватывающая эксплуатацию, профилактическое обслуживание, устранение неполадок и защитные блокировки.

Запчасти:Предметы критического износа (нити, кристаллы QCM, уплотнения, турбомолекулярные подшипники), хранящиеся на региональном складе.