Гибридная система осаждения тонких пленок PVD объединяет термическое испарение, электронно-лучевое (e-лучевое) испарение и магнетронное распыление RF/DC в рамках единой вакуумной архитектуры. Эта платформа позволяет последовательное или совместное-осаждение металлов, сплавов и диэлектриков без нарушения вакуума и предотвращения межфазного окисления. Разработанная для научно-исследовательских институтов и пилотных производственных линий, система обрабатывает носители толщиной до 6 дюймов с помощью автоматического много-осевого вращения.
Технические характеристики
|
Параметр |
Спецификация |
|
Предельное базовое давление |
< 5.0 x 10^-6 Pa (baked out) |
|
Время откачки-откачки |
< 15 minutes to 1.0 x 10^-3 Pa |
|
Размер подложки |
Пластины диаметром до 6 дюймов / специальные держатели |
|
Равномерность толщины пленки |
<= +/- 1% across a 4-inch substrate (planetary rotation) |
|
Источники осаждения |
До 3 карманов для электронных-лучей, 2 тепловых лодочек, 4 магнетронных катодов |
|
Температура подложки |
Температура окружающей среды до 800 градусов Цельсия (ПИД-регулирование) |
|
Материал камеры |
Электрополированная нержавеющая сталь 304L/316L |
|
Соответствие требованиям безопасности |
CE-совместимый; компоненты, изготовленные по стандартам UL/NFPA, по запросу |
Ключевые особенности
Модульные розетки:Сменные фланцы источника позволяют быстро менять конфигурацию между распылительными катодами и термическими/электронно-лучевыми испарителями.
Изоляционная архитектура:Пневматические задвижки изолируют технологическую камеру от трубы высокого-вакуума, чтобы свести к минимуму образование частиц.
Мониторинг на месте-:Выделенные порты для кварцевых микровесов (QCM) и оптической эмиссионной спектроскопии (OES).
ПЛК с блокировкой безопасности:Аппаратные блокировки предотвращают активацию источника при высоком давлении, отключении охлаждающей воды или нарушениях безопасности.
Конфигурация вакуумной системы
Черновой насос:Сухой спиральный насос (30 м^3/ч) для устранения обратного потока углеводородов.
Высоковакуумный насос:Турбомолекулярный насос на магнитной подвеске (1200 л/с для N2) с криогенной ловушкой.
Датчики:Комбинированные датчики Пирани и холодного катода, охватывающие атмосферу до 10^-7 Па.
Выпечка:Куртки картриджного нагревателя с внешними изоляционными слоями, выдерживающими температуру до 150 градусов C.
Совместимость материалов и подложек
Испарительные материалы:
Металлы:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Cu, Ni
Диэлектрики и оксиды: SiO2, TiO2, Al2O3, ITO
Полупроводники:Си, Ге
Типы субстратов:Монокристаллические кремниевые пластины, стекло, кварц, полиимидные пленки и металлическая фольга.
Приложения
Оптоэлектронные устройства:Прозрачные проводящие электроды (ITO) и многослойные-отражатели для органических светодиодов и солнечных элементов.
Микроэлектронная упаковка:Под-выступающая металлизация (UBM) и затравочные слои для упаковки на уровне пластины-.
Передовые исследования и разработки:Структуры квантовых устройств, тонкие сверхпроводниковые пленки и магнитные туннельные переходы (MTJ).
Параметры настройки
Масштаб камеры:Увеличенные размеры для 12-дюймовых подложек или интеграции перчаточного ящика.
Настройка источника:Пользовательские объемы тиглей, источники питания РЧ-смещения и модули ионно-ассистированного осаждения (IAD).
Автоматизация:Управление рецептами с помощью сенсорного экрана или полное соответствие стандартам автоматизации производства SECS/GEM.
Контроль качества
Тестирование на утечку:Тестирование гелиевого масс-спектрометра на камеру (< 1 x 10^-10 Pa*m^3/s threshold).
Проверка размеров:Проверка на КИМ расстояний от источника-до-подложки и допусков фланцев.
Электрические испытания:Привет-Проверка потенциометров, проверка целостности заземления и аудит EHS на всех-линиях высокого напряжения.
Установка и поддержка
Заводские приемочные испытания (FAT):На нашем предприятии перед-проверкой базового давления, работоспособности источника и автоматизированной цикличности.
Полевая установка:Механическая центровка на-площадке, проверка подключения к инженерным сетям и приемочные испытания на площадке (SAT).
Документация:В комплект поставки входят электрические схемы, диаграммы P&ID, резервные копии ПЛК и сертификаты заводских испытаний.
Часто задаваемые вопросы
Вопрос: Может ли система переключаться между реактивным распылением и термическим испарением за один проход?
А: Да. Пневматические заслонки изолируют каждый источник, позволяя выполнять последовательное действие без прерывания вакуума.
Вопрос: Каковы требования к коммунальным услугам объекта?
A: Требуется трехфазное питание 380/480 В, охлаждающая вода (от 18 до 22 градусов Цельсия при давлении 0,3 МПа), сжатый воздух (от 0,5 до 0,7 МПа) и выхлопная линия чернового насоса.
Вопрос: Как предотвращается перекрестное-загрязнение между металлическими источниками?
О. Дымоходы с отдельными источниками, направленные перегородки и физические жалюзи сводят к минимуму перекрестные-наводки материалов при работе с несколькими-источниками.
горячая этикетка : Гибридная система осаждения тонких пленок PVD, Китайские системы осаждения гибридных тонких пленок PVD, производители, поставщики, завод, тонкопленочная вакуумная система
