Оборудование для электронно-лучевого испарения тонких пленок

Серия EBE-V600 — это промышленная-платформа физического осаждения из паровой фазы (PVD), предназначенная для точного тонкопленочного-покрытия оптических компонентов, полупроводниковых приборов и современных материалов. Направляя высокоэнергетический магнитно-фокусированный электронный луч на исходные материалы внутри водо-тиглей с водяным охлаждением, система достигает высокой скорости испарения, сохраняя при этом тепловые нагрузки изолированными от стенок камеры.

Архитектура включает в себя несколько-карманных источников электронов и двойные кварцевые микровесы (QCM), обеспечивающие стехиометрическую точность пленки и постоянный контроль толщины много-слоевых диэлектрических или металлических стопок.

Пистолет E- с магнитным отклонением на 270 градусов:Изолирует вольфрамовую нить от прямых путей пара, предотвращая короткое-замыкание и продлевая срок службы между интервалами технического обслуживания.

Цифровое управление разверткой:Программируемые растровые узоры равномерно распределяют энергию электронов по поверхности испаряющегося материала, уменьшая образование микропор и преимущественное испарение во время осаждения сплава.

Разделенная вакуумная архитектура:Линии черновой обработки и откачки высокого-вакуума конструктивно изолированы от рамы основной камеры для подавления передачи механической вибрации во время роста пленки.

Матрица безопасности аппаратной блокировки:Мониторинг с помощью ПЛК-в реальном времени расхода охлаждающей воды, обратной связи по высокому-напряжению, пневматического давления и целостности дверного уплотнения.

Вакуумный под-контур спроектирован для быстрой циклической работы и низкого базового давления, чтобы свести к минимуму попадание остаточного газа (H2O, O2, N2) в растущую пленку:

Высоковакуумный-насос:Турбо--молекулярный насос производительностью 1200 л/с с двухступенчатым пластинчато-роторным насосом (или насосом с сухой спиралью для соответствия требованиям чистых помещений).

Запорная арматура:Задвижка с высокой-проводимостью с пневматическим приводом, изолирующая камеру во время операций нагрузки.

Измерение вакуума:Комбинированные ионизационные датчики Пирани и холодного катода, охватывающие непрерывный диапазон от атмосферы до 10^-6 Па.

Совместимые источники испарения

Оптические интерференционные фильтры:Многослойное осаждение-индекса и низкого-много-индекса для узкополосных-фильтров и лазерных зеркал.

Производство полупроводниковых приборов:Формирование омического контакта, осаждение затворного оксида и затравочные слои металла.

Исследования OLED и дисплеев:Испытания на тонкое катодное осаждение и-многослойную органическую/неорганическую пассивацию.

Твердые огнеупорные покрытия:Защитные износостойкие-слои для механических и аэрокосмических компонентов.

Расширение камеры:Увеличенная высота резервуара или прямоугольная геометрия, адаптированная для интеграции кластерного инструмента.

Интеграция источников:Параллельные источники термического испарения (резистивные лодочки) в сочетании с электронно-лучевыми пушками.

Ионное-осаждение с помощью ионов (IAD):Интеграция конечного-источника ионов Холла или Кауфмана для уплотнения пленки и настройки напряжения.

Архитектура программного обеспечения:Программирование рецептов ПЛК/ЧМИ, совместимое с системами автоматизации Siemens S7 или Beckhoff.

Масс-спектрометрическое испытание на утечку гелия:Перед интеграцией каждая сварная конструкция камеры испытывается на порог отбраковки < 1 x 10^-9 Па·м3/с.

Электротехническое соответствие:Испытания на диэлектрическую стойкость-высокого напряжения и проверка целостности заземления в соответствии с рекомендациями CE/UL.

Заводские приемочные испытания (FAT):72-непрерывный сухой-испытательный запуск, регистрация кривых базового давления, повторяемости развертки электронного луча и времени срабатывания блокировки. Документация по испытаниям поставляется вместе с устройством.

Ввод объекта в эксплуатацию:Сертифицированные заводом инженеры-выполняют механическое выравнивание, проверку утечки вакуума, контроль подключения к инженерным сетям и первоначальную калибровку.

Техническая подготовка:3-дневное обучение протоколам эксплуатации и технического обслуживания на месте, включающее замену нити накаливания, восстановление вакуумного клапана и редактирование рецептов.

Результаты документации:Полные технические подшивки, включая схемы P&ID, электрические схемы, файлы резервных копий ПЛК и перечень запасных частей.