Вакуумное покрытие — это технология, при которой металлы, сплавы, соединения и другие материалы наносятся на поверхность объектов с образованием тонких пленок в вакуумной среде с помощью физических или химических методов. Вот подробное введение:
Принцип:
• Физическое осаждение из паровой фазы (PVD): использование физических процессов, таких как испарение и распыление, для превращения материалов покрытия в газообразные атомы или молекулы, которые затем осаждаются на поверхности подложки с образованием тонких пленок. Например, при нанесении покрытия методом испарения материал покрытия нагревается до испарения в газообразное состояние. Газообразные атомы или молекулы хаотично движутся в вакууме и осаждаются на поверхности подложки при контакте с ней.
• Химическое осаждение из паровой фазы (CVD): В результате химической реакции газообразных химических веществ на поверхности подложки образуются и осаждаются твердые вещества с образованием тонких пленок. Например, при определенных условиях температуры и давления газообразные соединения, содержащие элементы материала покрытия, разлагаются и реагируют на поверхности подложки, а образующиеся твердые продукты будут осаждаться на подложке.
Основные методы:
• Покрытие, полученное методом вакуумного испарения: материал покрытия помещается в источник испарения и нагревается до испарения, позволяя атомам или молекулам выходить и конденсироваться на поверхности подложки, образуя пленку. Его обычно используют для покрытия металлических пленок, диэлектрических пленок и т. д.
• Напыление покрытия: ионный луч, генерируемый источником ионов, бомбардирует целевой материал покрытия, заставляя атомы или молекулы распыляться и осаждаться на поверхности подложки, образуя пленку. Его можно использовать для покрытия различных пленок из металлов, сплавов и компаундов.
• Ионное покрытие: В условиях вакуума материал покрытия ионизируется, а затем ускоряется электрическим полем и осаждается на поверхности подложки. Имеет сильную адгезию и хорошее качество пленки.
Области применения:
• Оптическое поле: покрытие оптических линз может увеличить пропускание или уменьшить отражение, улучшая качество изображения; его также можно использовать для изготовления зеркал, фильтров и других оптических компонентов.
• Электронная область: при производстве полупроводниковых приборов он используется для изготовления металлических электродов, барьерных слоев, изолирующих слоев и т. д.; его также можно использовать для покрытия электронных компонентов, чтобы улучшить их износостойкость и устойчивость к коррозии.
• Декоративная область: покрытие пленками золота, серебра, хрома и других металлов на поверхности ювелирных изделий, часов, скобяных изделий и т. д. может повысить их эстетическую привлекательность и блеск, а также повысить их износостойкость и устойчивость к коррозии.
• Инструментальная область: покрытие твердых пленок, таких как нитрид титана и карбид титана, на поверхности режущих инструментов и форм может улучшить твердость, износостойкость и смазывающую способность, а также продлить срок службы.
